螺旋真空泵的工作原理与一般的容积泵相同，由定子、转子、转子、缸体、电机等主要部件组成。带有转子叶片的转子偏心安装在固定气缸中。当转子高速旋转时，泵腔被转子槽中的四个径向滑动转子叶片分成四个工作室。由于离心力的作用，转子叶片紧贴气缸壁，将定子的进、出口隔开，反复运转，改变容积，将吸入的气体从排气口排出，从而达到抽气的目的。螺杆真空泵排出的油蒸气对环境有什么影响？如果环境不允许污染，可以选择螺旋真空泵，也可以将油蒸气排到室外。 因为螺杆真空泵的型号比较多，所以会有选择性抽气的设备，但是有时这一种并不能满足要求，需要多个螺杆真空泵组合使用达到相互补充的作用，这样才能满足抽气条件。螺旋真空泵对氢气的抽速很高，但不能抽吸氦气，而三极式离子泵，对氩有一定的抽速，结合这两种方法，就可使真空处理装置获得更好的真空度。此外，一些螺杆真空泵在我国大气压下无法正常工作，需要预真空；一些螺杆真空泵的出口压力低于大气压，需要前泵，因此需要将泵组合使用。 
