为什么螺杆真空泵要用氮气
现在的螺杆真空泵基本上采用的填充方式都是以氮气。使用氮气的好处在于对泵进行吹扫时，可以延缓腐蚀性气体对泵的腐蚀，从而起到一个良好的保护作用。下面为大家总结螺杆真空泵在使用氮气时的优势。
一是有腐蚀性气体的泵将使用氮气，氮气吹净泵，延缓泵的腐蚀性气体腐蚀。 二，气密，稀释制程气体。减轻腐蚀及制程附着。 三，螺杆真空泵里冲入氮气是为了在真空泵内壁形成微弱保护气膜，氮气压力不宜过大，也不宜过小，过大会影响抽真空效果和增加能耗。 四，真空镀膜工艺中用到的一些气体对螺杆真空泵有腐蚀作用，所以会采用这种泵。 五，冲多少单位的氮气后就能镀膜出他们需要的颜色。有些颜色用乙炔。在实际运用中，多数使用氩气。 六，氮气的吸附热小，吸附于物体表面的时间短。在螺杆真空泵中，当氮气吸附在器壁面时，它很容易被抽除。 七，氮气在没有一定的温度、压力或者是催化剂等辅助条件下，很难与外界发生反应。因此在泵系统清洗过程中，利用氮气吹扫，更为安全可靠。 其特点是在真空系统清洁过程中使用氮气净化。在真空涂层中，用干氮清洗真空系统后，氮分子首先吸附在真空系统的器壁上。由于器壁表面的吸附位是一定的，被氮分子沾满后，其他的分子如水分子等就会减少，因而真空系统的整个抽气时间就会大大减少。
