螺杆真空泵的工作原理与一般体积泵相同，由定子、转子、旋转片、气缸体、电机等主要部件组成。带旋转片的转子偏心安装在固定气缸中。转子高速旋转时，转子槽内的四个径向滑动旋转片将泵腔分为四个工作室。由于离心力，旋转片靠近气缸壁，将定子的进出口一次又一次地分开，容量发生变化，吸入气体，从排气口排出，从而达到目的。螺杆真空泵排出的油蒸气对环境有什么影响？如果环境不允许受到污染，可以选择螺杆真空泵或将油蒸气排出室外。 由于螺杆式真空泵有选择性排气，有时选择性泵不能满足排气要求，需要几个泵组合，相互补充，以满足排气要求。螺杆式真空泵对氢的泵送速度很高，但不能泵送氦，而三极溅射离子泵对氩有一定的泵送速度。当两者结合时，真空装置会得到更好的真空度。 
